ROHS檢測(cè)儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。X射線熒光光譜儀通?？煞譃閮纱箢?，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發(fā)源、分光晶體和測(cè)角儀、探測(cè)器等，而能量色散光譜儀則只需激發(fā)源和探測(cè)器和相關(guān)電子與控制部件，相對(duì)簡(jiǎn)單。
波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測(cè)元素的分析譜線，根據(jù)Bragg定律，通過測(cè)定角度，即可獲得待測(cè)元素的譜線波長：
nλ=2dsinaθ （n=1,2,3…）
式中 ，λ為分析譜線波長；d為晶體的晶格間距；θ為衍射角；n為衍射級(jí)次。利用測(cè)角儀可以測(cè)得分析譜線的衍射角，利用上式可以計(jì)算相應(yīng)被分析元素的波長，從而獲得待測(cè)元素的特征信息。
能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測(cè)器，通過測(cè)定由探測(cè)器收集到的電荷量，直接獲得被測(cè)元素發(fā)出的特征射線能量：
Q=kE
式中，K為入射射線的光子能量；Q為探測(cè)器產(chǎn)生的相應(yīng)電荷量；k為不同類型能量探測(cè)器的響應(yīng)參數(shù)。電荷量與入射射線能量成正比，故通過測(cè)定電荷量可得到待測(cè)元素的特征信息。
待測(cè)元素的特征譜線需要采用一定的激發(fā)源才能獲得。目前常規(guī)采用的激發(fā)源主要有射線光管和同位素激發(fā)源等。
為獲得樣品的定性和定量信息，除光譜儀外，還必須采用一定的樣品制備技術(shù)，并對(duì)獲得的強(qiáng)度進(jìn)行相關(guān)的譜分析和數(shù)據(jù)處理。
